高速沉积优质非晶硅氢合金薄膜新技术<%=id%>

所属分类：	新能源及节能	项目来源：	其他
技术持有方姓名：	汕头大学	所在地域：	广东
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	应用低价、优质太阳能电池；静电复印鼓；钝化膜及各种复合膜材料。本技术研究出一种高速沉积，非晶硅氢合金（2-Si:H）薄膜沉积速度高达每秒20埃，比当前国内外沉积，2-si:H，药膜速率每秒2埃，高十倍，而材料的光电性能，仍具有当前国内外低速成膜的水平。使用这种块速制膜技术，可以大大缩短制膜的时间，降低器件的造价，尤其适用于制备优质太阳能电池和静电复印感光膜等器件。