SOI材料制备及产业化<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	SOI（绝缘体上的硅）材料被称为21世纪的集成电路材料，IBM在微处理器方面的重大突破显示出它在高速微电子器件，低压、低功耗器件以及光通信器件等方面具有广阔的应用前景。该项目把握了SOI技术发展趋势，通过近20年SOI技术的研究工作积累，基本解决了SOI材料关键制备工艺技术，并推动了相关成果的产业化。SOI材料的国产化，将大大促进SOI技术在我国相关信息技术领域中的应用。