γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底材料的制备方法<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	其制备过程包括如下具体步骤：在铂金坩埚内，放置有带气扎的LiAlO2和Li2O混合料块；将双面抛光或单面抛光的蓝宝石α-Al2O3晶片置于或悬于铂金丝上，加上覆盖有LiAlO2和Li2O混合粉料和热电偶的坩埚，坩埚顶部铂金盖密闭，置于电阻炉中；该电阻炉加热升温至1000-1400℃，恒温20-100小时，Li2O扩散到α-Al2O3晶片中，降温后可得到γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底材料。该专利克服了α-Al2O3衬底晶格失配度大和难以获得大尺寸高质量LiAlO2单晶衬底等问题，可用于生长高质量InN-GaN薄膜外延生长。