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所属分类: |
新型材料 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
所在地域: |
上海 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
该发明专利是一种鳞状碳纳米管,包括其制备方法和专用装置。 该鳞状碳纳米管的特征为:其外径为15-50纳米,内径5-20纳米,长度10-100微米,鳞状物的实际长度为100纳米,宽50纳米,为3-10层呈蜷曲状的多层石墨层片。 其制备包括:中间层制备、过滤金属催化剂制备和碳纳米管生长三个过程。通过催化层的过渡金属膜,尤其是铁膜和中间层的晶格失配产生应力,使过渡金属膜破裂成纳米级颗粒。 该专利提供的专用装置包括:真空系统、加热系统、配气系统、等离子体发生系统和薄膜生长系统,可一次完成包括样品清洗、预处理、中间层沉积、催化剂制备和碳纳米管的生长等工艺过程。 用该专利技术制备的鳞状碳纳米管密度高、直径均匀、石墨化程度高,长度由反应时间控制。
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