类金刚石薄膜及CN薄膜<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	华中科技大学	所在地域：	湖北
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	利用射频等离子辅助化学气相沉积法和射频磁控溅射沉积法制备类金刚石薄膜及CN薄膜，通过控制甲烷、氮气的流量、溅射功率、靶的材料、负偏压等来控制薄膜的成分与性能，以获得符合各种性能要求的类金刚石薄膜及CN薄膜。类金刚石薄膜及CN薄膜具有高硬度、高耐磨性以及良好的耐热性和化学稳定性。特别是同金刚石薄膜相比类金刚石薄膜的制备工艺简单，可以利用多种方法制备大面积、致密、光滑的薄膜。