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所属分类: |
建筑 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
北京科技大学科研处 |
所在地域: |
北京 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
该项目研究开发的高功率DC Arc Plasma Jet CVD 金刚石膜沉积系统设备采用了独特的大口径直流磁控长通道炬专利技术,成功地解决了大面积电弧放电等离子体的空间温度和成分分布的均匀性难题,从而保证了大面积金刚石膜的高速均匀沉积。该技术实质上是工具级和热沉级金刚石厚膜的工业化生产技术,包括所需要的生产设备和生产工艺。其中所涉及的100千瓦级高功率系统是一种金刚石膜大规模工业化生产设备,可用于工具级和热沉级金刚石厚膜的大批量生产。30千瓦级系统是一种研究开发型设备,既可用于研究开发的目的,也可用于金刚石膜(工具级和热沉级)的批量生产。金刚石厚膜可用于制造金刚石拉丝模模芯,代替金刚石聚晶(PCD)或价格昂贵的天然金刚石单晶模芯,用于拉制各种有色金属丝(如钨丝、钼丝、钽丝、铝丝、铜丝等等)。也可用于金刚石厚膜钎焊工具的制造,生产可用于加工诸如高硅铝合金、各种有色金属、复合材料、陶瓷、塑料等难加工材料的长寿命精密切削刀具;亦可用于砂轮修正笔、高压水切割机喷嘴、高精密耐磨表面(轴承、导轨等)等需要极度耐磨损、抗磨擦的场合。目前金刚石拉丝模已经显示很好的市场前景。热沉级金刚石厚膜主要用于高功率激光二极管(或二级管阵列)的热沉(散热片),或超大规模集成电路的三维立体组装技术的热沉,以及高功率半导体器件的封装等等。目前国内尚未形成市场,近期内的市场主要在国外。 |
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