化学气相沉积制备大面积MgB2超导薄膜工艺<%=id%>

所属分类：	无机	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	贵州大学	所在地域：	贵州
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该项目用常规半导体工艺清洗；在氩气气氛下加热分解乙硼烷沉积单质硼薄膜；退火生成MgB超导薄膜。主要特点：能制作大面积MgB2超导薄膜（只受加热器和基片大小限制）；与现有的微电子工艺相兼容，可将薄膜直接应用于高性能超高速微电子系统中；制备出的超导薄膜转变温度在25K到39K之间，工艺简单，过程控制容易，工艺成本低。