溶胶-凝胶（Sol-Gel）法制备p型ZnO薄膜<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	南京大学	所在地域：	江苏
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	溶胶-凝胶（Sol-Gel）法制备p型ZnO薄膜。先制备Ga或N共掺杂的ZnO胶体溶液，在预先清洗好的Si片或其他衬底（石英玻璃、蓝宝石等）上滴加胶体溶液，以旋转衬底的方式使胶体溶液均匀涂覆，然后将薄膜在室温-100℃下放置一段时间再经过240-300℃的热处理，尔后在500-900℃、氨气气氛下热处理1-5小时。用溶液-凝胶法制备薄膜材料具有技术简单，低耗费，易于获得大面积的薄膜等优点。