纳米硅管制备技术<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	浙江大学	所在地域：	浙江
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该成果是采用化学气相沉积法制备纳米硅管。它包括以下步骤：1、制备具有数个纳米尺寸孔径的氧化铝模板；2、用磁控溅射法对氧化铝模板的一个平面镀膜，镀膜材料为三、五族元素或过渡金属元素或金，镀膜厚度为1-10000纳米；3、把镀膜过的氧化铝模板放在石英舟里，再把石英舟放入一个真空和气氛两用石英管式炉内，抽真空，使管式炉真空度为1-100Pa，加热炉管，使氧化铝模板温度为100-1000℃；4、将硅烷气体、氢气和氩气或氮气的混合气体送入管式炉；5、经1-50小时，从硅烷分解出来的硅沉积到氧化铝模板的纳米尺寸孔内形成纳米硅管。该技术工艺简单，为制备纳米硅管探索出一条新途径。