氮化铝与铜的结合方法<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海硅酸盐研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明专利是一种氮化铝与铜的结合方法。其特征是：将固相反应合成所得到的，含有活泼金属排氧化物共晶合金粉末置于AlN与Cu之间，然后对其进行高温处理。共晶合金粉末具体组分为（wt%）Ag:65%-75%，Cu:8%-22%，Ti:1.0%-3.0%，余量为Al、Ni、Co、Zr、Hf、Mo中的一种或种以上；反应温度500-650℃，时间1-6小时，经研磨后得到2μm大小，涂布或喷涂在AlN基板上，然后将Cu箔（板）覆盖其上，最后在10-2～10-4乇真空或Ar气氛或微还原气氛下高温处理，温度900-1200℃，保温时间2-12小时，压力0-6Mpa。该方法可以有效减缓AlN和Cu两者由热膨胀系数失配所产生的热应力，保证AlN-Cu结合的高强度和良好的抗热震性。