金刚石厚膜表面刻蚀技术<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	吉林大学	所在地域：	吉林
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该成果采用稀土化合物浆料（如以氧化铈和硝酸镧为原料的浆料），印刷于金刚石厚膜生长面，再经400-600℃烧结2-5小时，最后用浓硫酸清洗。所用浆料是将原料与溶剂混合研磨再加调和剂配制而成。该技术原料便宜且用量少，刻蚀工艺简单，不需要真空高温等苛刻条件和复杂设备，成本降低，刻蚀效果好，能减小机械抛光时间，浆料丝网印刷可图形化，有利于金刚石厚膜在电子封装领域中的应用。