制备类金刚石薄膜的装置<%=id%>

所属分类：	生物化学	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	这种制备类金刚石薄膜的装置，包括壁上带有两个透光窗口的真空室，真空室内置有靶材和待沉积薄膜基底。真空室外有作为光源的激光器，其发射的光束经过分束镜分成两束光：一束为消融沉积光束，经第一聚焦透镜透过第一透光窗口会聚到真空室内的靶材上；一束为扫描光束，经反射镜、第二聚焦透镜、旋转反射镜透过第二透光窗口会聚到真空室内的基底上。该装置具有结构简单，易于操作等优点，获得的薄膜质量优良，均匀而牢固。