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真空阴极电弧沉积类金刚石膜<%=id%>
所属分类:
石油化工及冶金
项目来源:
自创
技术持有方姓名:
广州有色金属研究院
所在地域:
广东
是否中介:
否
是否重点项目:
否
技术简介:
该项目采用物理气相沉积技术,在钛球顶振膜上沉积金刚石碳膜,其工艺稳定,重复性好,为类金刚石薄膜商业化生产和大幅度降低成本提供了技术保证。
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