金属有机物化学气相沉积设备<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	其他
技术持有方姓名：	中国科学院信息咨询中心	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	这是一种当今国际上先进的半导体晶体材料生长设备，它是利用金属有机物为原料，在单晶衬底上外延生长各种器件结构材料，如太阳能电池，半导体激光器、发光管、各种微电子器件，探测器等材料，该设备微机全自动控制。