过滤式温控氦气微漏阀<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院武汉物理与数学研究所	所在地域：	湖北
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明专利是一种过滤式温控氦气微漏阀。该微漏阀用于向超高真空系统注入氦气。该微漏阀由通气通道和流速控制器组成。其通气通道的微漏结构采用石英玻璃制成的氦气节流管。流速控制器包含温度传感器、恒温控制器及环绕在氦气节流管外径上的电热丝，温度在25-400℃范围内连续可调。通气通道由氦气节流管、密封罩、九五料玻璃管、出气口、进气口、不锈钢管、法兰和5号玻璃管组成；流速控制器由电热丝、温度传感器、加热电极、镍片和恒温控制器组成。使用该微漏阀向超高真空系统充注氦气，不但可大大降低真空预抽系统的要求，节约大量的人力和物力，还可降低对氦气纯度的要求，节约费用，简化操作。