组合型线列硅光探测器<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海技术物理研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该实用新型专利是一种用于成像光谱仪的组合型线列硅光探测器。该探测器包括：线列芯片、底板和带窗口的框架。线列芯片置在二边带电极引线图的底板中间，线列芯片上置有带窗口的框架，框架固定在底板上。该探测器利用了光谱检测时不同光敏元测试不同波长光的特点，把线列芯片分为几个子线列芯片，每一子线列芯片在工艺中对其探测波段的响应率进行增强，然后把这几个子线列芯片拼接成一个完整的线列芯片。这样，在光谱仪覆盖的整个光谱范围内都能得到高的测试灵敏度。探测器采用了PIN光电二极管的工艺，通过选择不同厚度的SiO2增透膜，使相应探测波段的响应率得到增强。