石英谐振称重传感器及系列石英电子衡器<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	清华大学	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	本成果在理论与实验的基础上，实现了传感器的产业化，开发的系列化石英电子衡器为国内外首创，目前石英谐振式称重传感器已形成年产100万只的生产能力，传感器综合精度达到0.02%，广泛用于各种类型的工业和商用衡器。目前国外在传感器产品研究方面主要局限在压力传感器，结构上多采用一体式结构，敏感谐振器与周边承载部件由同一块石英加工成一体，加工难度很大，成本非常高，应用受到限制。本成果在保证一定精度的前提下，注重批量生产的工艺适应性和小型化、低成本；在组合式结构的石英数字式力传感器的研究及产业化方面，处于国际领先水平。在电子衡器产品方面，目前国内外基本上都是采用模拟式的应变式传感器，成本高、功耗大。本项目在石英数字式力传感器产业化工作的基础上，在国际上首创生产了石英电子衡器，在精度水平上达到同类的应变式电子衡器，在精度水平上达到同类的应变式电子衡器，同时又具备了成本低、数字化、功耗低等一系列突出优点，在性能价格比方面明显优于现有的电子衡器产品。石英谐振式力传感器的技术成熟程度虽然不如目前广泛使用的应变式传感器，但是其数字化特征适应了数字化技术的发展趋势，在有关技术领域将具有更强的生命力。随着技术的逐步完善，将会在更广泛的范围内得到应用。团结石英数字式力传感器和系列石英电子衡顺的研究与产业化，迄今已申请5项发明专利和6项产品专利，已在国内外学术期刊和会议上发表有关的学术论文21篇，形成了一个配套相对完整的具有我国自主知识产权的新技术群。

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