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| 所属分类： |
综合其他 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
中国科学院半导体研究所 |
所在地域： |
北京 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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该实用新型专利是一种单晶炉的多管式结构。
该装置包括：1、炉子内壁，为圆筒状，上下两端贯通；2、反应杯托架，为圆柱形，其纵向开有多个呈梯形的圆孔，圆孔的底端为封闭状；3、反应杯，为薄的透明体，其形状与反应杯托架上的梯形的圆孔相同并容置在其内；4、升降轴，一端为杯状，另一端为一轴体，，杯状的一端容置有反应杯托架的一端；5、多个坩埚，均呈梯形，其外部的形状与反应杯托架上开有的呈梯形的圆也相似，且该坩埚容置在反应杯托架上开有的呈梯形的圆孔内的反应杯中。
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