纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料生长工艺<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	吉林大学	所在地域：	吉林
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该制备工艺包括预处理和长膜两个过程过程。预处理是将衬底在纳米级金刚石粉乙醇溶液中浸渍，再在高温氢气氛等离子体中退火两小时形成均匀高密度仔晶；长膜是以氢气和甲烷为原料气体，在化学气相沉积装置中，在5-15Mpa气压和600-950℃衬底温度条件生长金刚石膜。该工艺能生长均匀大面积金刚石膜，具有高附着力、低界面态密度、高可靠性、高品质与低成本等优良特性。