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    真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极<%=id%>


    所属分类: 综合其他 项目来源: 自创
    技术持有方姓名: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 所在地域: 吉林
    是否中介: 否  是否重点项目: 否 
    技术简介:
    该实用新型专利是在真空镀膜系统中,用电阻加热式蒸发舟的电极,特别涉及到对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。
    该活动电极包括:电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。
    它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后,以及蒸发舟在上下装卸的过程中,由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断,从而提高蒸发舟的使用寿命。由于在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯折现象,可以达到延长使用寿命的目的。
         

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