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所属分类: |
综合其他 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
所在地域: |
吉林 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
该实用新型专利是在真空镀膜系统中,用电阻加热式蒸发舟的电极,特别涉及到对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。 该活动电极包括:电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。 它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后,以及蒸发舟在上下装卸的过程中,由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断,从而提高蒸发舟的使用寿命。由于在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯折现象,可以达到延长使用寿命的目的。 |
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