多功能离子束增强沉积设备<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	大学理工大学	所在地域：	辽宁
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该设备在“全元素离子束表面改性方法”的基础上设计制造，其组成包括：真空室及真空系统、离子溅射系统、供气系统、水冷系统，具备金属离子注入、气体离子注入、离子束增强沉积、磁控溅射沉积功能，可进行材料表面改性和制备各种材料薄膜科学研究。在真空条件下进行材料表面改性和制备各种材料薄膜，界面结合强度高、节能、无污染，适合能源、航天、冶金、机械、石油化工等行业应用。该设备应用制备金属-MoS2复合固体润滑膜，提高使用寿命20倍以上，成功制备高性能的磁学膜、储氢薄膜、大规模集成电路的金刚石散热体金属化膜等，具有较大的市场潜力。该设备已进入应用，承担多基国家自然科学基金项目，已成功制备了微晶和非晶氧化膜，用于电子、通讯等领域。