具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器（F元件）<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院新疆物理研究所	所在地域：	新疆
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明涉及一种具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器（F元件）。该元件是用单面抛光的N型Si片电阻率在40到200Ωcm之间，其流程包括：氧化、光刻、硼预淀积、硼再分布和氧化、光刻、磷预淀积、磷再分布和氧化、刻引线孔、蒸铝、反刻铝、铝合金化、背面镀镍、划片、粘片、焊线、封装等。该元件制作工艺简单，成本低，应用方便，抗干扰能力强，适合于长距离传输。