智能溅射离子泵电源控制器<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学技术大学	所在地域：	安徽
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	溅射离子泵由于其清洁无油、对多种气体的抽气能力、以及不怕震动和易于维护，是目前超高真空获得系统中使用最广泛的一种真空泵，广泛应用于分析仪器、材料研究、加速器、光束线、储存环、空间环境模拟、镀膜技术以及其它要求无污染的环境。溅射离子泵是靠电磁场的作用产生潘宁放电而使气体分子电离，利用电脑产生的离子轰击并溅射阴极板（钛板），使电离了的气体分子收附于其中或利用溅射的吸气剂膜层（钛膜）来抽气的真空泵。几十年离子泵的发展过程中，国外近十年来变化最大的是离子泵电源控制器，主要表现在采用高频开关电源代替陈旧的50HZ功频电源。本产品按目前国际行业标准提供了一种基于开关电源方式的智能溅射离子泵电源控制器，全面使用开关电源替代过去的功频电源，重量轻、体积小、输入电压范围宽、高效节能。其技术达到国内领先水平。