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用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置<%=id%> |
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所属分类: |
综合其他 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
中国科学院物理研究所 |
所在地域: |
北京 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
该实用新型专利涉及制备大面积薄膜技术领域。该装置由加热器底座、台阶型的旋转加热板、样品固定片、齿轮等组成。采用加热板带动基片旋转的方法,可以制得均匀的薄膜。 该装置加热面积大且均匀,所制备的薄膜各点性能优良且一致。 这种用于制备大面积薄膜的自动旋转加热装置结构简单,易于加工,使用方便,价格低廉,且适于各种薄膜的制备。 |
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