高精度轴向驱动的特种圆环状压电驱动器<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海硅酸盐研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该实用新型专利为一种可提供三点分别控制、实现高精度准直和驱动双功能的特种圆环状压电陶瓷驱动器。它属于压电陶瓷微位移器领域。该驱动器由三个相互独立的圆弧形多层结构压电微位移器和上下两金属薄圆环组成。圆弧形多层结构压电微位移器由无金属片作内电极连接的特种纵向位移摸多层结构压电堆构成。该驱动器具有体积小、重量轻、工作电压低、准直性好、单一性轴向驱动等优点。可用于高精度大孔的扫描干涉仪，多光束P-F腔和激光Q开关等高等光学仪器设备。