一种三维微结构制备成型方法及系统<%=id%>

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.本发明公开了一种三维微结构制备成型方法及系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元，激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元，激光器具有透明有机玻璃平台，液体容器，热塑性材料，液体进口，液体出口，蒸馏水，XY 移动平台。本发明可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构，制备的结构线宽在1～100um 量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。
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