一种电容式微机械加速度计<%=id%>

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主分类号: 　.. .G01P15/125(2006.01)I.. 范畴分类: 　.. ...

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分类号: 　.. .G01P15/125(2006.01)I..

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优先权: 　.. ...

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申请（专利权）人: 　.. .北京航空航天大学..

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地址: 　.. .100083北京市海淀区学院路37号..

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发明（设计）人: 　.. .樊尚春;任杰..

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国际申请: 　.. ...

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国际公布: 　.. ...

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进入国家日期: 　.. ...

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专利代理机构: 　.. .北京科迪生专利代理有限责任公司..

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代理人: 　.. .刘秀娟;成金玉..

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分案申请号: 　.. ... 国省代码: 　.. .北京;11..

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颁证日: 　.. ... 光盘号: 　.. .D0641-1..

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摘要: 　..

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电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型。质量块中间含有两部分：一部分是弹性支撑，由两组折叠梁构成；另一部分是驱动电极和检测电极，以梳齿偏置结构构成差动电容。本发明能够在元件有限体积下实现较大的质量块，使加速度高效转化为惯性力，设计的弹性支撑结构和梳齿偏置式的静电驱动、电容检测提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。　..

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主权项: 　..

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1、一种电容式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极和齿枢，整个结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型；质量块中间是弹性支撑、齿枢、驱动电极、检测电极，弹性支撑由上下对称的两个折叠梁构成，每个折叠梁的一端通过锚点与基片连接，另一端与质量块固连；驱动电极和检测电极以梳齿偏置结构构成差动电容，电容的活动极板与质量块连接，电容的固定极板与齿枢连接。 ..

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