一种在使用氟硅玻璃制造工艺中防止氟扩散的方法<%=id%>

代理机构：.. 上海泰能知识产权代理事务所. 代.. 理.. 人：. 黄志达;谢文凯
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. 摘要　.
.一种在使用氟硅玻璃制造工艺中防止氟扩散的方法，在完成大马士革金属导线结构制造后，对氟硅玻璃介质使用1～5次等离子体处理，降低氟硅玻璃低介电材料的表面氟浓度，随后淀积抑制氟扩散的保护层，最后刻蚀底部阻挡层，完成大马士革结构。
. 主权项　.
.1、一种在使用氟硅玻璃制造工艺中防止氟扩散的方法，其特征在于：在完成大马士革金属导线结构制造后，对氟硅玻璃介质使用1～5次等离子体处理，降低氟硅玻璃低介电材料的表面氟浓度，随后淀积抑制氟扩散的保护层，最后刻蚀底部阻挡层，完成大马士革结构。.
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