静电力驱动的三臂微型夹持装置<%=id%>

余成俊
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. 摘要　.
.本发明涉及微型机械装置，具体涉及一种微型夹持装置或由控制输入电压驱动的微操控系统。该夹持装置由夹持机构与高频驱动电源两部分组成，夹持机构中，三根相互平行的夹持臂，其夹持段为悬臂状，另一段为安装部，固定在三根成品字形排列的圆形支架结合处的凹槽内，并分别设有电极且与高频驱动电源连通，该电源在一个周期内三路相继处于高电平，相位差为120度，一个电压周期内三路中只有一路处于高电平。高频驱动电源由低压电源、高压辅助电源与高压电源三部分组成。本装置的三夹持臂能方便准确定位，并在工作过程中受力均衡，夹持稳定可靠，能对被夹持器件进行空间控制，实现对复杂器件的装配。并有良好的绝缘，可在液体介质中进行操作。实验证实能够投入实际使用。
. 主权项　.
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