一种纳米TiO2-M薄膜紫外光传感器及其制备方法<%=id%>

大连八方知识产权代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 卫茂才
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. 摘要　.
.一种纳米TiO2-M薄膜紫外光传感器及其制备方法属于光电子技术领域。由以TiO2薄膜为紫外光吸光层的紫外光检测器10、及相应的偏置电压电路11、电流转换电路12、信号处理电路13构成。其特点是紫外光检测器10为宽带隙纳米TiO2薄膜传感器，它只对波长短于380nm的紫外光具有高灵敏度的响应输出，而对红外和可见光没有任何响应，防止除紫外光以外的其它光源的干扰。本发明具有灵敏度高、响应速度快、结构简单、体积小、价格低、寿命长、实用可靠的优点，适于各种复杂环境的使用。
. 主权项　.
.1.一种纳米TiO2-M薄膜紫外光传感器，其特征在于，由紫外光检测器(10)、偏置电压电路(11)、电流转换电路(12)和信号处理电路(13)依次连接构成，紫外光检测器(10)中的纳米TiO2薄膜光敏电极(5)和参比电极(6)连接到偏置电压电路 (11)，光敏电极(5)和对电极(7)连接到电流转换电路(12)，电流转换电路(12)输出的电压信号连接到信号处理电路(13)；其紫外光检测器(10)的构成为：纳米TiO2 薄膜光敏电极(5)、参比电极(6)和对电极(7)依次设置在盛有电解液(9)的石英电解池(4)内，三个电极极面保持并行，且彼此间距0.5-1.0cm，光敏电极(5)的纳米 TiO2薄膜(3)膜面朝向石英电解池(4)外侧；三个电极由导线(8)连接并经密封材料密封后引出电解池(4)，电解池(4)用密封材料密封；其紫外光检测器(10)的光敏电极(5)由基底(1)、涂于基底(1)上的导电膜(2)、涂于导电膜(2)上的纳米TiO2薄膜(3)三部分构成。.

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