|
|
|
|
|
|
|
|
际 申 请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利 代理 机构：.. 深圳市中知专利商标代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 孙 皓 林 虹
.
. 摘要 .
.本发明公开了一种金属薄膜复合制备装置及工艺，要解决的技术问题是在工件表面快速沉积结合力好、纯度高的金属薄膜，本发明的金属薄膜复合制备装置，镀膜室体内设有蒸发源和工件转架，镀膜室体中设有磁控溅射源，工件转架设置在磁控溅射源和蒸发源之间，其制备工艺包括以下步骤：镀膜室体内抽真空；真空度小于1×10-2Pa 后，向镀膜室体内充入氩气至真空度在3×10-2Pa～1Pa之间，在工件表面磁控溅射沉积金属膜；开启蒸发源在磁控溅射金属镀层上蒸镀同类金属，本发明与现有技术相比，沉积金属膜时先采用磁控溅射工艺，然后用真空蒸镀工艺，利用磁控溅射、真空蒸镀各自的优点，使膜纯度提高，与基体的结合力增强，进一步提高真空镀膜产品的质量。
. 主权项 .
.1.一种金属薄膜复合制备装置，其镀膜室体内设有蒸发源和工件转架，其特征在于：所述镀膜室体中设有磁控溅射源，工件转架设置在磁控溅射源和蒸发源之间。.
.
中国科技资讯网
.
|
|
|
|
|
设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明
Copyriht 2007 - 2008 © 科普之友 All right reserved |
