一种在炉管作业中消除图形效应的方法<%=id%>

发明 (设计)人：. 董颖. 国. 际申请：..
国. 际. 公. 布：.. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 上海浦一知识产权代理有限公司. 代.. 理.. 人：. 丁纪铁
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. 摘要　.
.本发明公开了一种在炉管作业中消除图形效应的方法，对α-8S型炉管的硅片对小舟的充填模式进行变更，1、在在线系统中设定从小舟的工艺气体进气端开始组批，保证产品在充填入小舟时，从小舟的工艺气体进气端开始充填；2、在每个批内的产品不足时，不在小舟的相应位置填入充填假片，而是让产品片连续的放置在小舟上；3、将充填假片的充填模式由工艺气体进气端充填改为其反方向充填，使原本要填入小舟相应位置的充填假片集中放置在小舟的工艺气体进气端的反方向。本发明可以有效消除由于图形效应对高密度图形产品的影响，适用于半导体器件的制造。
. 主权项　.
.1、一种在炉管作业中消除图形效应的方法，其特征在于：对α-8S 型炉管的硅片对小舟的充填模式进行变更，1、在在线系统中设定从小舟的工艺气体进气端开始组批，保证产品在充填入小舟时，从小舟的工艺气体进气端开始充填；2、在每个批内的产品不足时，不在小舟的相应位置填入充填假片，而是让产品片连续的放置在小舟上；3、将充填假片的充填模式由工艺气体进气端充填改为其反方向充填，使原本要填入小舟相应位置的充填假片集中放置在小舟的工艺气体进气端的反方向。.
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