深沟渠的制备方法及其蚀刻混合液<%=id%>

该输送溶液的粘度大于该蚀刻剂的粘度。该输送溶液可为旋涂式玻璃或光刻胶，而该蚀刻剂可为氢氧化四甲铵、氨水或氢氟酸，其中该输送溶液与该蚀刻剂的体积比例系介于５０∶１至２０∶１之间。

[权项] 一种深沟渠的制备方法，包含下列步骤：　　　　提供基板；　　　　形成沟渠于该基板的中；　　　　涂布蚀刻混合液于该基板表面及该沟渠的中；　　　　除去在该沟渠预定深度以上的蚀刻混合液；　　　　进行蚀刻工艺，利用在该沟渠中的蚀刻混合液蚀刻该预定深度以下的基板而形成深沟渠；以及　　　　除去在该深沟渠中的蚀刻混合液。

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