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硅烷组合物、硅膜的形成方法和太阳能电池的制造方法<%=id%> |
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一种用于制造太阳能电池半导体薄膜的硅烷组合物，所述硅烷组合物含有：用式SinRm所示的聚硅烷化合物(式SinRm中，n为3以上的整数，m为n～(2n+2)的整数，m个R互相独立地为氢原子、烷基、苯基或卤素原子，当m个R全部为氢原子、且m＝2n时，n为7以上的整数)和(B)从环戊硅烷、环己硅烷和甲硅烷基环戊硅烷中选择的至少一种硅烷化合物。
主权项
权利要求书
1.一种硅烷组合物，其特征在于，含有：(A)用式SinRm所示的
聚硅烷化合物和(B)从环戊硅烷、环己硅烷和甲硅烷基环戊硅烷中选
择的至少一种硅烷化合物，其中，式SinRm中，n为3以上的整数，m
为n～(2n+2)的整数，m个R互相独立地为氢原子、烷基、苯基或卤素
原子，当m个R全部为氢原子、且m＝2n时，n为7以上的整数。
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