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    溅镀靶及其制造方法<%=id%>
    本发明提供一种溅镀靶的制造方法，通过由宽度为100μs以下的脉冲输出的激光进行表面处理，经升华等除去在研削加工时生成的毛刺和研削粉末、特别是粉尘和尘埃等，因此可以使靶子开始使用时所产生的初期电弧显著降低，并能够提高初期稳定性，以低成本进行溅镀靶的制造。
    主权项
    　 权利要求书 1.一种溅镀靶，其特征在于：由宽度为100μs以下的脉冲输出的激 光进行表面处理。
         

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