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    表面检测装置<%=id%>
    一种表面检测装置，具有：附着了已知微粒的校正用晶片、具有自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片收纳部。
    主权项
    　 权利要求书 1、一种表面检测装置，包括：附着规格已知的微粒的校正用晶片、具有 自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片 收纳部。
         

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