水系保护膜剥离液管理装置及水系保护膜剥离液管理方法<%=id%>

对在保护膜剥离设备中使用的水系保护膜剥离液进行管理的水系保护膜剥离液管理装置。在本装置中，在保护膜剥离处理槽(调整槽)中，通过管路将测定水系保护膜剥离液中的水分浓度的吸光光度计和测定劣化成分浓度的电导率计连接，基于这些测定值，向保护膜剥离处理槽中供给保护膜剥离原液、保护膜剥离再生液、纯水、以及预先调合的保护膜剥离新液中的至少任一种。由此，在使水系保护膜剥离液的保护膜剥离性能维持稳定的同时，能够谋求使用液量的削减以及操作停止时间的缩短。
主权项
　权利要求书 1.水系保护膜剥离液管理装置，它是在调整槽内对在保护膜剥离设备中使用的水系保护膜剥离液进行管理的水系保护膜剥离液管理装置，其特征在于具备：测定来自上述调整槽内的水系保护膜剥离液的劣化成分浓度的劣化成分浓度测定手段，向上述调整槽中供给水系保护膜剥离原液、水系保护膜剥离再生液、纯水、及预先调合的水系保护膜剥离新液中的至少任一种的液体供给手段，以及基于上述测定的劣化成分的浓度，控制向上述调整槽中供给液量的液体供给量控制手段。

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