激光辐照方法、激光辐照装置和半导体器件制造方法<%=id%>

在激光端部获得了陡峭的能量分布。狭缝被置于被辐照表面紧邻的理由是为了抑制激光的扩展。此外，利用平面镜代替狭缝来折叠激光的衰减区，以便相互提高衰减区中的能量密度，致使在激光端部中获得陡峭的能量密度分布。
主权项
　权利要求书 1.一种激光辐照装置，它包含：激光器；用来将激光器发射的激光的第一能量密度分布转换成被辐照表面上的第二能量密度分布的第一装置；以及用来使具有第二能量密度分布的激光端部中的能量密度均匀化的第二装置，其中第二装置被提供在被辐照的表面与第一装置之间。

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明