具有金属-绝缘体-金属电容器的集成元件<%=id%>

摘要
　一种制造具有集成金属-绝缘体-金属电容器(7)的集成元件的方法。首先，将层间电介层(11)和上部电极(12)沉积在由铜制成的下部电极(6)的整个表面上。然后，金属-绝缘体-金属电容器(7)图案形成，并且蚀刻过程中止于层间电介层(11)。这样可以避免上部电极(12)和下部电极(6)之间发生短路。
主权项
　权利要求书 1.具有含铜合金的内连导线(3，8，14)和一个金属-绝缘体-金属电容器(7)的集成元件，其特征在于，该电容器(7)由一在一用于内连导线的金属平面(5)的第一电极 (6)、一首先用作蚀刻中止层的层间电介层(11)和一金属化层(12)构成。

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