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在加工机床(14，16)中传送微电子工件(w)。该传送系统(20)包含一个在传送导轨(26)上滑动导引的传送单元(30，32)，用于传送和操作工件(w)。传送单元(30，32)包含一个垂直构件(220)，其与两臂部式机械臂(100)的基端相连。机械臂(100)在其末端具有一个末端执行器(108)，它可受驱动抓取工件(w)的外围边沿。设置有第一旋转驱动器(200)，使垂直构件(220)绕其轴线旋转，以使整个机械臂(100)旋转。还设置有第二旋转驱动器(240)，通过一个皮带使机械臂(100)的第二臂部(114)相对于机械臂(100)的第一臂部(110)旋转。还设置有第三旋转驱动器(302)，使末端执行器(108)绕其水平轴线旋转。第三旋转驱动器(302)使末端执行器(108)能够将微电子工件(w)在朝上和朝下之间翻转。
主权项
权利要求书
1.一种用于移动微电子工件的传送单元，其包含：
壳体；
从所述壳体伸出的垂直构件；
从所述垂直构件伸出的手臂构件，该手臂构件设有用于夹持工件
的末端执行器，第一旋转驱动器与所述末端执行器相连，用于使所述
末端执行器绕水平轴线旋转。
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