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    一种化学机械研磨浆料组成<%=id%>
    P研磨浆料的氧化剂，具有较佳的氧化力，且可避免传统氧化剂易污染芯片表面或改变浆料pH值，具有较佳的研磨效果。
    主权项
    　 权利要求书 1、一种化学机械研磨浆料组成，其特征是：它包含有：氧化铝成分、预 定浓度的溶解态臭氧及添加剂；该浆料组成的pH值介于1-10之间。
         

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