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    制备金刚石和类金刚石薄膜的方法<%=id%>
    冲电弧放电，使有机溶液电离成含碳等离子体，冲向并沉积在基板(3)上，制得金刚石薄膜或类金刚石薄膜。本发明具有合成温度低和沉积速率快等优点。
    主权项
    　 权利要求书 1.一种制备金刚石和类金刚石薄膜的方法，其特征是用脉冲电弧放电电离有机溶液 制备金刚石和类金刚石薄膜，将有机溶液在常温常压和脉冲电压0.5～30KV条件下，诱导 阳、阴电极(1)、(2)产生脉冲电弧放电，使有机溶液电离成含碳等离子体，冲向并沉积 在基板(3)上，制得金刚石薄膜或类金刚石薄膜。
         

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