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位于这些区域的边界的边界层。在块状成长层形成元件的块状元件区域的元件形成面,与在埋入绝缘膜上的硅层形成元件的SOI元件区域的元件形成面高度大致相等。
主权项
权利要求书
1.一种半导体装置,具有:
支持基片;
在上述支持基片上有块状结晶成长的块状成长层,具有在上述块状成长层
形成元件的第1元件形成面的块状元件区域;
在上述支持基片上有埋入绝缘膜和该埋入绝缘膜上的SOI层,具有在上述
SOI层形成元件的第2元件形成面的SOI元件区域;
位于上述块状元件区域和SOI元件区域的边界的边界层,
其特征是:上述第1元件形成面和第2元件形成面,位于大致相同高度。
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