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    抛光设备<%=id%>
    。
    主权项
    　 权利要求书 1.一种抛光设备，包括由多个电极元件组成的电极，驱动电极的驱 动装置和具有介电性能的研磨粒，这些研磨粒分布在电极与工件之间， 且在由交流电压加到电极而产生的库仑力施加加工压力的位置上。
         

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