一种纳米复合稀土永磁薄膜材料及其制备<%=id%>

一种纳米复合稀土永磁薄膜材料，由衬底、缓冲层、硬磁相和软磁相交叠层及保护层依次组成，其特征在于：所述衬底为陶瓷玻璃、玻璃或Si；所述缓冲层为Ti、Cr、Ta、Mo、或V中的一种，厚度为0～100nm；所述硬磁相和软磁相交叠层分别为，硬磁相R(Fe，T，B)z，其中R是稀土元素，z＝2～8，T是合金元素，其原子百分比为0～60％，B的原子百分比为0.6～20％，剩余的部分由Fe进行平衡，厚度为1～500nm；软磁相Fe、Co或FeCo合金，厚度为0-50nm.米；硬磁相层和软磁相层的层数分别在1～200层之间。
主权项
　权利要求书 1、一种纳米复合稀土永磁薄膜材料，由衬底、缓冲层、硬磁相和软磁相交叠层及保护层依次组成，其特征在于：所述衬底为陶瓷、陶瓷玻璃、玻璃或Si；所述缓冲层为Ti、Cr、Ta、Mo、或V中的一种，厚度为0.5～100nm；所述硬磁相和软磁相交叠层分别为：硬磁相R(Fe，T，B)z，其中R是稀土元素， z＝2～8，T是合金元素，原子百分比为0.1～60％，B的原子百分比为 0.6～20％，剩余的部分由Fe进行平衡，厚度为1～500nm；软磁相Fe、Co或 FeCo合金，厚度为0-50nm；硬磁相层和软磁相层的层数分别在1～200层之间。

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