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本发明揭示一种能够减低插入损耗，同时具有良好耐气候性，可降低成本的声表面波装置及其制造方法。在压电基板1a上设置了叉指形电极部。利用ECR溅射法，将用于提供耐气候性的由氮化硅膜、氧化硅膜以及氧化氮化硅膜中的至少一种构成的机能膜4，成膜在叉指形电极部1b上的至少一部分中。
主权项
权利要求书
1.一种声表面波装置，其特征在于，
在压电基板上设置叉指形电极部，
用于提高耐气候性的由氮化硅膜、氧化硅膜及氧化氮化硅膜的至少一种构
成的机能膜，成膜在叉指形电极部上的至少一部分中，
至少在一部分具有透湿性的构件中，设置了内装具有叉指形电极部及机能
膜的压电基板的管壳，
利用电子回旋加速器共振溅射法，形成所述机能膜。
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