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			您现在的位置在：  首页>>专利 >>专利推广 用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂和处理光致抗蚀剂层的方法<%=id%> 张平元;范明娥 摘要 　 本发明提供一种用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂，其包括50到80重量％的醋酸正丁酯，丙二醇烷基醚，和丙二醇烷基醚醋酸酯。该稀释剂既对人类无毒害，也不对生态带来不利影响，而且没有不适的气味。其废液和与之相关的废水容易处理，由此使得这种稀释剂对环境友好。本发明的光致抗蚀剂稀释剂具有优异的冲洗能力。 主权项 　 权利要求书 1、一种用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂，其包括： 50到80重量％的醋酸正丁酯， 丙二醇烷基醚，和 丙二醇烷基醚醋酸酯。

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