一种锌镓氧化物陶瓷靶材及其制备方法和应用<%=id%>

气氛烧结成密实的块体，作为溅射靶材，并应用于锌镓氧化物透明导电薄膜的制备。该发明制作工艺简单、经济、制成的靶材成分均匀，性能稳定。应用该靶材制备透明导电薄膜具有工艺稳定、易于控制等特点。所制备的薄膜的光电性能优异，一致性好，且耐湿耐蚀。该薄膜应用于太阳能电池作为透明电极时，对电池材料无不良影响，并可提高器件的稳定性和耐久性。
主权项
　权利要求书 1.一种锌镓氧化物陶瓷靶材，其特征在于：该陶瓷靶材由锌、镓氧化物组成，是由氧化锌粉末和氧化镓粉末经烧结而成，其中的氧化镓占总质量的2～7％。

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