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氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体<%=id%> |
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氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体包括如下步骤：a、设置一个高温、恒温环境的保护和与晶体生长相适应的气体气氛环境保护的晶体生长真空室；b、中频感应加热钼坩埚的温场装置；c、使用还原性气氛保护气体—氢气；d、晶体生长的提拉装置；e、控制生长晶体等径的电子秤测量系统；f、使用由电子束提纯后的Al2O3原材料。
主权项
权利要求书
1、氢气氛中使用感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体
其特征在于：
a、设置一个高温、恒温环境的保护和与晶体生长相适应的气体气氛环
境保护的晶体生长真空室；
b、中频感应加热钼坩埚的温场装置；
c、使用还原性气氛保护气体—氢气；
d、晶体生长的提拉装置；
e、控制生长晶体等径的电子秤测量系统；
f、使用由电子束提纯后的Al2O3原材料
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