新版光罩的验证方法<%=id%>

转移于晶元上，以在晶元上形成一第二图案，然后，利用光学检验机对比晶元上的第一图案与第二图案，以验证新版光罩的正确性。
主权项
　权利要求书 1.一种新版光罩的验证方法，其特征为：该方法包括：提供一晶元；将一新版光罩的图案转移于该晶元上，以在该晶元上形成一第一图案；将一旧版光罩的图案转移于该晶元上，以于该晶元上形成一第二图案；以及对比该第一图案与该第二图案，以验证该新版光罩的正确性。

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